短訊！不只東進世美肯，韓國還有兩家公司在研發極紫外光刻膠
2022-12-07 18:12:20|
來源：TechWeb 作者：
(資料圖)
12 月 7 日消息，據國外媒體報道，本周早些時候，有外媒在報道中稱，多年前就已在嘗試重構 EUV 光刻膠供應鏈的三星電子，已經首次將韓國本土廠商東進世美肯的 EUV 光刻膠，用于他們的一條量產工藝線。
而從外媒的報道來看，除了已經用于三星電子一條量產工藝線的東進世美肯，韓國還有兩家公司在進行 EUV 光刻膠的研發。
外媒在報道中提到的兩家公司，分別是 YOUNGCHANG 化學和 SK 材料，但這兩家公司研發的 EUV 光刻膠，還沒有達到進行可靠性驗證的水平。
三星電子等韓國半導體廠商嘗試重構 EUV 光刻膠供應鏈，與 2019 年日本對韓國關鍵的原材料及設備的出口限制有關，其后韓國公司就開始嘗試本土供應。
產品已經進入三星電子一條量產工藝線的東進世美肯，就是在三星電子嘗試重構 EUV 光刻膠供應鏈之后，開始相關產品的研發的，他們所研發的 EUV 光刻膠，在三星電子的華城園區進行了幾個月的驗證，在去年年底通過了可靠性驗證。
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